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在我們進行激光切割加工的過程當中，出現焦點與被加工對象表面間相對的位置有變化的問題有非常多，被加工的工件表面凸凹不平還有工件裝夾方法以及機床幾何誤差還有機床在負載力下出現變形，工件在加工的時候熱變形等都會導致激光切割加工的焦點位置出現偏差。有一些誤差是具有規律性的，我們能夠經過定量的補償辦法對它實行補償，可是有一些誤差為隨機的誤差，唯有經過在線檢測還有控制來對它進行消除。
一、工件幾何誤差
激光切割加工的對象為板材或著是覆蓋件型件，因為各種因素的影響，加工對象的表面是具有起伏不平，并且在記性切割加工的時候熱效應的影響也是會出現薄板件的表面變形，對于激光加工，覆蓋件在壓制成型的時候也是會出現表面不平，所有這些，都是會出現激光焦點和被加工對象的表面位置與理想位置出現隨機的變化。
二、工件裝夾裝置產生的誤差
激光切割加工的工件是放在針狀工作臺上，由于加工誤差、長時間與工件之間的磨損和激光的燒傷，針床會出現凸凹不平，這種不平也會產生薄鋼板和激光焦點之間的位置的隨機誤差。
三、編程產生的誤差
在進行激光切割加工的時候，電動推桿的復雜曲面上，加工的軌跡是經過直線還有圓弧等進行擬合的，像這一些擬合的曲線還有實際的曲線都是存在著一定的誤差，像這一些誤差會使實際的焦點還有加工的對象表面對應位置還有理想編程位置出現誤差。而有一些示教的編程系統也是會引入一些偏差的。
